Praxiswissen Mikrosystemtechnik: Grundlagen – Technologien – by Friedemann Völklein, Thomas Zetterer

By Friedemann Völklein, Thomas Zetterer

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Ich will doch nur normal sein!

Erschütternde Grausamkeiten musste sie miterleben und wurden ihr selbst angetan. Schwer vorstellbar und nicht zu fassen, dass Menschen dazu fähig sind, solches Leid zuzufügen. In Ihrem Bericht beschreibt Tina J. nicht nur die Grauen erweckenden Erlebnisse, sondern vor allem sich selbst und ihre inneren Zustände, vor und während ihrer therapeutischen Behandlung.

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Durch die Messung der Induktivität einer mit einem supraleitenden Material gefüllten Spule kann dessen Sprungtemperatur bestimmt werden. Die Messung von Spannungen bzw. Strömen an Josephson-Kontakten erlaubt die hochpräzise Bestimmung von Magnetfeldern. Solche Kontakte bestehen aus einem Paar von Supraleitern, die durch eine isolierende Barriere (z. B. eine 1-2 nm dicke Oxidschicht oder eine geometrische Verengung) getrennt sind und deren Strom-Spannungscharakteristik stark von einem äußeren Magnetfeld abhängt.

Bei der Verbiegung eines zusammengesetzten Formkörpers (Bimorph) aus einem piezoelektrischen Material und einer Metallplatte, führt bei einer entsprechenden Kontaktierung des Piezomaterials zu einer messbaren elektrischen Spannung. 2-3) Der Piezoeffekt tritt nur in Festkörpern ohne Inversionszentrum bzw. mit einer polaren Achse auf. Wichtige Materialien sind Quarz, Pb(ZrxTi1-x)O3 (sog. PZT), LiNbO3, ZnO, BaTiO3 und PVDF (Polyvinylidenfluorid). Dabei besitzt PZT, das vor der Anwendung polarisiert werden muss, mit Abstand die höchsten Piezokoeffizienten.

Diem, P. Rey, S. Renard, S. Viollet, H. Bono, F. Michel, M. T. Delaye, G. Delapierre, SOI „SIMOX“; from bulk to surface micromachining, a new age for silicon sensors and actuators, Sensors and Actuators A 46-47 (1995) 8 [Ehrfeld91] W. Ehrfeld, D. Münchmeyer, Threedimensional Microfabrication using Synchrotron Radiation, Nuclear Instr. and Methods in Physics Research A303 (1991) 523-531 [Ehrfeld95] W. Ehrfeld, H. Lehr, Deep X-ray lithography for the production of threedimensional microstructures from metals, polymers and ceramics, Radiat.

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